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氧化層表面造成各種各樣黑斑的關(guān)鍵緣故有下列幾類，一種是硅片表面解決不干凈，殘余著一些拈污的殘渣粒子，高溫下沾附在疏水二氧化硅層的表面，產(chǎn)生部分小黑點，這類難題只需用心解決硅片就能清除。
另一種是因為石英管長期性應(yīng)用，處于高溫地區(qū)的石英管造成乳白色塑料薄膜，這類乳白色塑料薄膜的構(gòu)造較為疏松，大氣旋吹開或?qū)嶋H操作時振動就會導(dǎo)致粒子掉下去.落入硅片表面就會產(chǎn)生氧化層表面部分凸起。
實際操作時一定堅決杜絕水珠噴到石英管中，特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時，當(dāng)溫度過高，發(fā)生爆發(fā)式燒開時，通常會將水滴立即噴到石英管中，如落入硅片上，就會發(fā)生五顏六色斑點。此外清理過的硅片上如殘余水漬，也會在氧化影片上發(fā)生斑點。
如在疏水二氧化硅表面存有黑斑時，黑斑處的氧化層對殘渣的掩蔽功效很有可能無效，因而導(dǎo)致元器件特性下降，若有很大的突起黑斑時，還會繼續(xù)導(dǎo)致光刻技術(shù)實際操作品質(zhì)降低，危害全部芯管生產(chǎn)制造的良品率，因此在生產(chǎn)制造中應(yīng)盡量減少發(fā)生黑斑。
氧化層針孔的造成與氧化的方式相關(guān)，一般熱氧化幾乎不造成針孔。可是假如硅片的品質(zhì)不太好，有比較嚴(yán)重的織構(gòu)，而織構(gòu)的地區(qū)又聚集較多的熱擴散系數(shù)大的殘渣，比如，銅、鐵等，在這種地區(qū)就不可以非常好地生長發(fā)育出疏水二氧化硅層，因此產(chǎn)生氧化層針孔，這種針孔一般人眼不容易發(fā)覺，有時候也稱埋孔，蔓延時它能使殘渣部分透過，掩蔽無效，進而導(dǎo)致元器件走電擴大，抗壓減少，乃至離斷，或是導(dǎo)致鋁電級與疏水二氧化硅層下的地區(qū)短路故障。為了更好地清除針孔，應(yīng)挑選缺點少的光伏材料，而且表面光滑、整平。清理時要嚴(yán)苛實際操作，避免重金屬超標(biāo)殘渣臟污硅片表面。
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